




實驗室氣路安裝要求
1、所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對氣體純度要求不是太嚴格的地方。
2、氣路安裝管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。
3、易1燃氣體,如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時,其間距不應小于0.5M;交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。
4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯(lián)一路,用單獨的閥門隔離,以方便對過濾裝置進行維修。
5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。
6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。
7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
8、每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑,設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。
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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。特氣系統(tǒng)知識分享:一般混合氣體由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。
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試驗室供氣需求
目前大多數(shù)試驗室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質譜儀、液相色譜質譜儀、原子吸收分光光度計、原子熒光光度計、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃氣,因此試驗室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗室中放置的分析儀器。因為氣瓶間是相對獨立的,整個氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處,因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險縮小至氣瓶間內,可對人體及儀器的傷害可降到1低。
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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法
特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
1、內向檢漏法(噴氦法)采用管道內部抽真空,外部噴氦氣的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣,下游抽真空的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
3、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣,外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
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